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飛旋磁懸浮復合分子泵,采用五自由度磁懸浮軸承,可實(shí)現泵體的任意角度安裝,通用接口設計,適合各種設計需求、豐富擴展功能,滿(mǎn)足客戶(hù)定制化需求,抽速范圍1000-2300L/S, 最高轉速42000rpm, 極限真空5*10-8Pa,兼容國外同類(lèi)產(chǎn)品,廣泛應用于科研、節能玻璃、太陽(yáng)能光伏、液晶面板制造等行業(yè)。